奈米轉印材料

圖案化藍寶石基板(PSS)

即為提高LED晶片的亮度與光萃取率,將藍寶石平面晶圓以半導體蝕刻製程,

於LED藍寶石基板進行圖案化加工,並經由PSS控制LED的發光形式,

能夠減少差排密度、改善晶體藉以提升LED的內部量子效率,同時PSS的凹凸結構能夠散射光線(Scattering Light),增加LED的亮度。

PSS的結構尺寸通常數微米到次微米之間,圖案化結構越小及深寬比越高,元件的光取出的效率就越高。其方法可分為壓印微影法及轉印法:

壓印微影法是指將做為蝕刻遮罩材料的壓印膠塗佈於藍寶石基板上,然後利用壓印製程將壓印膠圖案化,接著先去除壓印殘餘層,

再進行藍寶石基板的乾蝕刻,最後移除殘留的遮罩層,完成藍寶石基板的圖案化。其中壓印膠材料,成型的方式為紫外光壓印型(UV Imprint)。